商品明細

應用半導體、液晶產業乾式蝕刻、離子注入器、化學氣相沉積等前端和末端探測器及可靠性試驗使用。

◆較寬的溫度範圍
◆絕佳的熱和化學穩定性
◆不需消電離作用機械裝置
◆本質上不用養護的單一成份液體
◆非反應性
◆無毒，不可燃，無閃點或燃點
◆高電阻係數
◆更容易除去污染物

優點:
1.實現免維修

- 能解決電蝕問題。
- 能解決由 RF 洩漏引起的生產效率降低的問題。
- 使溫度控制變得更容易。
- 能夠解決高溫使用，對於乙二醇溶液的老化分解、殘渣造成的循環泵的燒結問題。

2.提高安全性
化學性能穩定、具不燃性和化學惰性等特性，所以能:

- 有助於改進防爆對策。
- 在發生洩漏時，因為和惰性有機金屬氣體不發生反應，所以能減少火災的危險。
- 能夠確保高溫使用時的安全性。