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商品明細
商品詳細介紹Product Introduction
最新款电热水洗式废气处理机为高端半导体制程废气的处理系统，有高温电热式腔体，将制程所产生的废气，利用特殊设计的一个反应室，反应成粉末或是反应成溶解于水中的物质，再经过后段之完全有效处理才排放至厂务中央处理系统，所用之材料符合FM防火认证，并支援isys节能环保功能。所能处理的制程废气，包含高端半导体厂、 TFT-LCD 厂、LED厂、太阳能厂 …等所使用的特殊气体。
商品特色
◆工研院SEMI S2之相关安全认证
◆作业温度850度，有效处理废气
◆独立的Inlet和Outlet压力表头
◆使用Inlet加热棒的加热装置
◆搭載空氣與氮氣的預熱裝置
◆简易的预防性维修
商品规格
产品规格：
1.设有两个废气处理入口端
2.外观尺寸( 公厘 )- 900( 深 )*1000( 宽 )*1950( 高 )
3.机台重量：450 公斤
4.最高处理量可到达800 slm
选购配备：
出口端鼓风机
远端监控系统
自动切换系统
加热枪及加热带
水质酸碱测量供应系统