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商品明細
商品詳細介紹Product Introduction
燃烧水洗式废气处理机是一个专门处理含氟性气体的废气处理系统，它混合了高温燃烧分解及水溶解的过程，将制程所产生的废气，经由反应室二阶段的高温燃烧， 反应成粉末，或是反应成溶解于水中的物质，再经由另一道程序的水槽而排放至厂务处理系统，所处理的废气，包含大部份半导体厂及TFT - LCD 厂所使用的特殊气体，维修保养的频率少且时间短，不会影响生产的时程。
商品特色
◆工作温度高达1350度，有效处理PFC、Gas
◆远端监控系统，随时掌握机台状况
◆机台多使用循环水，用水量相当节省
◆双压力计，监测进口压力与出口压力
◆LCD触控式萤幕，具中英文介面，人性化操作
◆双腔体各自独力的控制系统，可自动by pass
◆反应腔体有特殊防阻塞、PFA抗腐蚀之设计，能延长机台PM周期，缩短PM时间
◆电路人机介面PLC控制系统，具99.9 ％的稳定性及准确性，维修亦简单迅速
◆具 SEMI 认证，interlock、即时警报、故障排除…等安全机制
商品规格
产品规格：
1.可依制程提供二~八个废气处理入口端。
2.外观尺寸 ( 公厘 )-1150( 深 )*1200( 宽 )*2100( 高 )。
3.机台重量：635 公斤。
4.最高处理量可到达1200 slm。
选购配备：
出口端鼓风机
远端监控系统
自动切换系统
加热枪及加热带
水质酸碱测量供应系统