商品明細

電漿水洗式廢氣處理機

料號：S008

商品詳細介紹Product Introduction

電漿水洗式廢氣處理機是專門處理各種製程廢氣的廢氣處理系統，它利用電漿的超高溫燃燒分解後，再由水進行水溶解及降溫，並可配合節能裝置，有效的管理燃燒時間減少浪費，達成高效率低耗能特色。其所能處理的製程廢氣包括半導體，LCD廠LED廠太陽能廠等等，即便無天然氣供應的廠房，也可以安裝，方便且安全。

商品特色

◆大容量
- 大處理量，滿足太陽能、面板、LED產業需求。
- 多個Inlet設計，增加機台利用率，達到客戶需求。
◆高效率
- 電漿焰含有豐富的UV光，可加速化學反應，可將能量作最有效的運用。
- 可有效處理溫室氣體。
◆超安全
- 機台設計皆符合SEMI S2認證要求。
- 全方位安全連鎖設計，電力、溫度、流量、壓力連鎖設計達百分百。
◆省資源
- 使用isys功能，有效減碳節能，不浪費。
- 機台多使用循環水，用水量相當節省。

客製化設計

節能裝置系統
遠端監控系統
自動切換系統 
水質酸鹼測量供應系統

聯絡方式

尾氣處理設備產品 -
聯絡人：蔡苑玲 / Debbie
聯絡電話：03-5511899#256、0912-236040
聯絡信箱：bsm88@osc-tw.com

真空設備產品 -
聯絡人：陳志欣 / Joyce
聯絡電話：03-5511899#271、0972-109900
聯絡信箱：bsm66@osc-tw.com