商品明細

水洗電熱水洗式廢氣處理機

料號：S005

商品詳細介紹Product Introduction

最新款電熱水洗式廢氣處理機為高端半導體製程廢氣的處理系統，有高溫電熱式腔体，將製程所產生的廢氣，利用特殊設計的一個反應室，反應成粉末或是反應成溶解於水中的物質，再經過後段之完全有效處理才排放至廠務中央處理系統，所用之材料符合FM防火認證，並支援isys節能環保功能。所能處理的製程廢氣，包含高端半導體廠、 TFT-LCD 廠、LED廠、太陽能廠 …等所使用的特殊氣體。

商品特色

◆工研院 SEMI S2 之相關安全認證
◆作業溫度 850 度，有效處理廢氣
◆獨立的 Inlet 和 Outlet 壓力表頭
◆使用Inlet加熱棒的加熱裝置
◆搭載空氣與氮氣的預熱裝置
◆簡易的預防性維修

配備選購

出口端鼓風機
遠端監控系統
自動切換系統
加熱槍及加熱帶
水質酸鹼測量供應系統

聯絡方式

尾氣處理設備產品 -
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聯絡電話：03-5511090#256、0912-236040
聯絡信箱：bsm88@osc-tw.com

真空設備產品 -
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聯絡電話：03-5511090#271、0972-109900
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