商品明細

燃燒水洗式廢氣處理機

料號：S003

商品詳細介紹Product Introduction

燃燒水洗式廢氣處理機是一個專門處理含氟性氣體的廢氣處理系統，它混合了高溫燃燒分解及水溶解的過程，將製程所產生的廢氣，經由反應室二階段的高溫燃燒，反應成粉末，或是反應成溶解於水中的物質，再經由另一道程序的水槽而排放至廠務處理系統，所處理的廢氣，包含大部份半導體廠及TFT - LCD 廠所使用的特殊氣體，維修保養的頻率少且時間短，不會影響生產的時程。

商品特色

◆工作溫度高達 1350 度，有效處理PFC、Gas
◆遠端監控系統，隨時掌握機台狀況
◆機台多使用循環水，用水量相當節省
◆雙壓力計，監測進口壓力與出口壓力
◆LCD 觸控式螢幕，具中英文介面，人性化操作
◆雙腔體各自獨力的控制系統，可自動by pass
◆反應腔體有特殊防阻塞、PFA 抗腐蝕之設計，能延長機台PM週期，縮短PM 時間
◆電路人機介面 PLC 控制系統，具 99.9 ％的穩定性及準確性，維修亦簡單迅速
◆具 SEMI 認證， interlock 、即時警報、故障排除…等安全機制

配備選購

出口端鼓風機
遠端監控系統
自動切換系統
加熱槍及加熱帶
水質酸鹼測量供應系統

聯絡方式

尾氣處理設備產品 -
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聯絡電話：03-5511899#256、0912-236040
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真空設備產品 -
聯絡人：陳志欣 / Joyce
聯絡電話：03-5511899#271、0972-109900
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