商品明細

电浆水洗式废气处理机

料號：S008

商品詳細介紹Product Introduction

电浆水洗式废气处理机是专门处理各种制程废气的废气处理系统，它利用电浆的超高温燃烧分解后，再由水进行水溶解及降温，并可配合节能装置，有效的管理燃烧时间减少浪费，达成高效率低耗能特色。其所能处理的制程废气包括半导体，LCD厂LED厂太阳能厂等等，即便无天然气供应的厂房，也可以安装，方便且安全。

商品特色

◆大容量
- 大处理量，满足太阳能、面板、LED产业需求。
- 多个Inlet设计，增加机台利用率，达到客户需求。
◆高效率
- 电浆焰含有丰富的UV光，可加速化学反应，可将能量作最有效的运用。
- 可有效处理温室气体。
◆超安全
- 机台设计皆符合SEMI S2认证要求。
- 全方位安全连锁设计，电力、温度、流量、压力连锁设计达百分百。
◆省资源
- 使用isys功能，有效减碳节能，不浪费。
- 机台多使用循环水，用水量相当节省。